1、潔凈室 

半導(dǎo)體、平面液晶顯示器、光電子和生物醫(yī)藥都需求潔凈的出產(chǎn)車間，一般潔凈室是指空間空氣懸浮粒子濃渡被操控在規(guī)則邊界內(nèi)的房間或限制空間，這塵土粒子的粒徑越小和被限制的粒數(shù)越小，潔凈度便越高。 2、潔凈室的靜電 

因?yàn)闈崈羰业臐崈舳日埱螅覂?nèi)運(yùn)用 

①許多的高jue緣介質(zhì)裝修資料、地上、墻、門、頂棚、間隔、作業(yè)臺、椅子等等，這些資料沖突簡單起電帶電，不易走漏釋放。 

光刻間塑料地上500V~1000V，分散間塑料地上500V~1500V，瓷磚地上也有500V~1500V，塑料墻紙700V，塑料頂棚OV~1000V，金屬活動(dòng)皮芏椅面500V~3000V。 

②人穿潔凈廠服、鞋、步行或作業(yè)時(shí)，與不一樣物質(zhì)設(shè)備器件沖突要發(fā)生靜電，人、衣服、鞋都會帶電。 人穿尼龍衣、塑料膠底鞋緩慢地在清洗的地板上走動(dòng)，人身上帶7000V~8000V靜電壓。在乙烯基地板上行走可帶1200V（10%~20%RH）、250V（65%~90%RH）靜電壓，在地毯上行走可帶35000V（10%~20%RH）、1500V（65%~90%RH），晶片安裝線工人穿的廠服可達(dá)10KV。 

③空調(diào)氣流通過初效過濾器、中效過濾器、高效過濾器，凈化出口氣流是帶靜電的。鋁板送風(fēng)口、回風(fēng)口約為500~1000V。 

④許多的jue緣器件、配備和東西，也是主要的靜電電荷源。晶片安裝出產(chǎn)線：晶片裝料盒35KV，有機(jī)玻璃蓋8KV，石英制品1.5KV，晶片托盤6KV，丙烯酸脂蓋20KV，臺桌面10KV，塑料存貯柜30KV，玻璃纖維晶體載料盒滑過聚丙烯桌面帶10KV。 

總之：潔凈室的潔凈度請求越高，靜電帶電便越嚴(yán)峻。  

二、潔凈室靜電的損害 1、靜電庫侖力 

在靜電庫侖力的效果下，吸附的粉塵、污物構(gòu)成元器件增大走漏或構(gòu)成短路，使功能受損，成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑>100μm，鋁線寬度約100μm，氧化膜厚度在50μm時(shí)，**易使商品作廢?，F(xiàn)在線徑更細(xì)，氧化膜很薄，粒徑很小的塵粒子就會損害元器件，這種景象多發(fā)作在腐蝕清洗、光刻、點(diǎn)焊和封裝等技術(shù)進(jìn)程中。 2、靜電放電ESD 

（1）元器件的jue緣氧化膜被擊穿，引線被燒斷或線間熔斷。若人體帶上10KV（100PF）的靜電荷，觸摸器件腳時(shí)發(fā)作ESD，其向大地剎那間構(gòu)成脈沖放電電流峰值可達(dá)20A（10~100s），不要說高密度，細(xì)線徑，薄SiO2膜的Lsi、Vlsi，即是一般IC、MOS都會遭受損壞。 

一般說器件jue緣柵SiO2薄膜的耐壓場強(qiáng)是E=（5-10）×106V/cm，假如器件SiO2膜厚度取1000，其器件輸入腳施加50V-100V以上的靜電壓就將會被擊穿，而人體帶靜電超越50V、100V是極往常的。 （2）構(gòu)成噪聲、發(fā)射電磁波攪擾 

ESD導(dǎo)致EMI其電磁波的前后峰較尖，信號強(qiáng)，相當(dāng)于電路中幾伏的能量，頻率跨過幾MH2甚幾百M(fèi)H2的強(qiáng)壯噪聲，也許導(dǎo)致元器件損壞，設(shè)備和傳感器不正常作業(yè)，乃**導(dǎo)致設(shè)備死機(jī)。 

ESD導(dǎo)致的EMI還會引發(fā)過錯(cuò)信號的輸入，或發(fā)作鎖存現(xiàn)象。如無塵室中，將晶圓片的EMIF箱放在鋼的手推車上，晶圓片的ESD會通過電感傳給手推車，車輪是jue緣的，則EMI的分散會導(dǎo)致晶圓片處理機(jī)死機(jī)。 

（3）電擊人體 

人體的ESD或?qū)θ梭w的ESD當(dāng)超越人體電擊極限電流5mA以上時(shí)，人都會有各種傷害感受，構(gòu)成作業(yè)人員的心情不安，操作過錯(cuò)。 

半導(dǎo)體，平面顯示器，光電子等潔凈室，雖然做了許多作業(yè)，但潔凈室的靜電疑問依然影響著出產(chǎn)安全和商品產(chǎn)量，影響著制構(gòu)本錢和效益，影響商品的質(zhì)量和可靠性。據(jù)G外工業(yè)**估量，美G每年因?yàn)殪o電構(gòu)成商品的丟失平均在8-33%，還有人估量美G每年靜電對電子工業(yè)毀損價(jià)值達(dá)100億美元；日本80年代曾對作廢的電子商品進(jìn)行剖析，由ESD導(dǎo)致的丟失占1/3。中G半導(dǎo)體、平面液晶顯示、光電子等都起步較晚，但靜電損害也時(shí)有發(fā)作，成品率較低。而銀行、證券公司、機(jī)要數(shù)據(jù)庫、監(jiān)控基地，電力調(diào)度室等等，若呈現(xiàn)ESD就很簡單導(dǎo)致攪擾，數(shù)據(jù)遺失，景象就更嚴(yán)峻了。  

三、潔凈室靜電操控 1、靜電操控的基本原則 （1） 斷定靜電操控等級 （2）盡量削減靜電荷的發(fā)生 

（3） 泄放和中和的辦法加快靜電荷散失，避免靜電堆集 （4）維護(hù)商品不受ESD的損壞 2、斷定靜電操控的等級 

（1）元器件、組件和設(shè)備靜電靈敏度分級 1級：易遭受0-1999V靜電電壓損壞的 2級：易遭受2000-3999V靜電電壓損壞的 3級：易遭受4000-5999V靜電電壓損壞的 #p#分頁標(biāo)題#e#

而靈敏靜電壓大于16000V的，便不必采納防靜電辦法。 （2）靜電防護(hù)作業(yè)區(qū)的分級 

A級：答應(yīng)對地靜電電位不超越±100V B級：答應(yīng)對地靜電電位不超越±1000V 

實(shí)踐工程中是分靜電電位不超越100V、500V、1000V等對應(yīng)元器件、組件和設(shè)備靜電靈敏電壓的3級。 3、盡量減小靜電荷的發(fā)生 

這是操控靜電三步曲的**步，在這凈化作業(yè)環(huán)境中，**佳的辦法： （1）盡量選用性質(zhì)類似器件，削減在觸摸沖突別離進(jìn)程中發(fā)生靜電電荷； 

（2）盡量選用導(dǎo)靜電型或靜電耗散型資料的器件，削減觸摸沖突別離進(jìn)程發(fā)生堆集靜電荷； （3）盡量選用削減觸摸沖突別離而發(fā)生靜電荷的出產(chǎn)流程。 4、泄放和中和 

這是操控靜電三步曲的第二步，在微電子出產(chǎn)的凈化室中**一般的辦法是接地，選用導(dǎo)電性或耗散性資料泄放靜電荷，以及離子化消電器中和靜電荷。 （1）接地 

潔凈室應(yīng)設(shè)一個(gè)獨(dú)立靜電接地體系（包括地上接地金屬網(wǎng)支體系、出產(chǎn)線作業(yè)站接地支體系），以便室內(nèi)一切設(shè)備金屬外殼、移動(dòng)設(shè)備的金屬支架、防靜電器件等安全、有效地將靜電荷泄放**大地。作業(yè)人員的帶電則通過手腕帶接地，以及通過防靜電鞋或腳跟帶再經(jīng)防靜電地上向大地泄放。地上、墻面、頂棚、間隔等是硬接地，設(shè)備外殼、移動(dòng)設(shè)備（車、椅、貨架等）、作業(yè)臺等則屬軟接地。 （2）離子化肖電器 

潔凈室中出產(chǎn)拼裝的元器件、PCB，出產(chǎn)線、作業(yè)站上老是難免存在一些不能接地的jue緣導(dǎo)體和jue緣介質(zhì)資料（例如大多數(shù)一般塑料）。在某些環(huán)境下，離子化消電器常用來部分散失這些物體上的靜電荷，而更常常的是借助于空氣離子化來中和在jue緣介質(zhì)上和孤立導(dǎo)體上的所帶靜電電荷。 （3）導(dǎo)靜電和靜電耗散資料 

導(dǎo)靜電資料和靜電耗散資料因?yàn)槠渚哂袑?dǎo)靜電性，也是極好的靜電荷泄放資料，并且比金屬導(dǎo)體泄放更具有安全性，一般被選用做地板、墻面、作業(yè)臺、周轉(zhuǎn)容器、鑷子、刷子等防靜電器件。 5、避免ESD，維護(hù)商品 

這是操控靜電的三步曲中**終一步。在微電子出產(chǎn)的凈化室中，為阻撓ESD發(fā)作在靜電靈敏元器件或組件、PCB上，一種辦法是對元器件和組件供給適宜的接地或分路以“散失”掉商品上存在的靜電荷；另一種辦法是用恰當(dāng)?shù)陌b辦法和資料來處理靜電靈敏器件的包裝和輸運(yùn)。這些資料可有效地屏蔽電荷侵入商品以及削減商品在包裝箱中移動(dòng)而發(fā)生靜電荷。 

G際上，半導(dǎo)體、平面液晶顯示器，光電子開展很快，集成度越來越高，芯片線徑越來越細(xì)，對防靜電請求越來越高。美GESD協(xié)會已開始修訂ANS ESD S 20.20-1999靜電放電操控綱要，對SSD靜電靈敏性分類已作了些修正。 

這給元器件運(yùn)用者一個(gè)警示，不管在人員或設(shè)備進(jìn)行配備制作時(shí)，告訴你能需求的環(huán)境操控請求。假如EPA區(qū)域內(nèi)答應(yīng)電壓到達(dá)25V的話，恐怕我們現(xiàn)有的防靜電器件、配備、東西以及工程都要通過一番艱苦的盡力