一個潔凈室是被設(shè)計用來保護(hù)特殊消費產(chǎn)品，如微電子，醫(yī)藥，食品，或航天設(shè)備免受顆粒污染物一個封閉的生產(chǎn)空間。復(fù)雜的或大規(guī)模的生產(chǎn)可能需要相當(dāng)大的，zui先進(jìn)的潔凈室，而在其他情況下，模塊化設(shè)計可能就足夠了。所有潔凈室的共同點是，房間本身處于正壓狀態(tài)，并且空氣被過濾。
潔凈室中的空氣不斷進(jìn)行處理，以擦洗受保護(hù)環(huán)境中的微小顆粒。這是通過迫使空氣沿層流或湍流方向通過HEPA或ULPA過濾器，直到達(dá)到zui大允許的顆粒尺寸和潔凈室的ISO（G際標(biāo)準(zhǔn)化組織）標(biāo)準(zhǔn)分類計數(shù)來實現(xiàn)的。從ISO 3級開始，潔凈室等級越低，其清潔度就必須越高，因此需要的換氣率就越高。
在ISO 14644標(biāo)準(zhǔn)系列的一個全面的指導(dǎo)意見“的設(shè)備，設(shè)施和潔凈室操作方法和相關(guān)受控環(huán)境的標(biāo)準(zhǔn)化。” ISO，食品藥品管理局（FDA）當(dāng)前的良好生產(chǎn)流程（CGMP）和歐盟的良好生產(chǎn)規(guī)范指南（GMP）的其他標(biāo)準(zhǔn)包括對生產(chǎn)過程中必須排除微生物的工藝和藥品的要求。
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分類 |
相當(dāng)于FED STD 209E |
zui大濃度極限（顆粒/ m 3） |
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≥0.1微米 |
≥0.2微米 |
≥0.3微米 |
≥0.5微米 |
≥1微米 |
≥5微米 |
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ISO 1 |
不適用 |
10 |
2 |
0 |
0 |
0 |
0 |
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ISO 2 |
不適用 |
100 |
24 |
10 |
4 |
0 |
0 |
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ISO 3 |
1類 |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
0 |
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ISO 4 |
10級 |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
0 |
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ISO 5 |
100級 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
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ISO 6 |
1,000級 |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
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ISO 7 |
10,000級 |
不適用 |
不適用 |
不適用 |
352,000 |
83,200 |
2,930 |
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ISO 8 |
100,000級 |
不適用 |
不適用 |
不適用 |
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
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ISO 9 |
標(biāo)準(zhǔn)間 |
不適用 |
不適用 |
不適用 |
35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
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測試參數(shù) |
班級 |
zui大時間間隔 |
測試程序 |
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顆粒計數(shù)測試 |
<= ISO 5 |
6個月 |
ISO 14644-1附錄A |
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顆粒計數(shù)測試 |
> ISO 5 |
12個月 |
ISO 14644-1附錄A |
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氣壓差 |
所有課程 |
12個月 |
ISO 14644-1附件B5 |
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空氣流動 |
所有課程 |
12個月 |
ISO 14644-1附件B4 |
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測試參數(shù) |
班級 |
zui大時間間隔 |
測試程序 |
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安裝的過濾器泄漏 |
所有課程 |
24個月 |
ISO 14644-3附件B6 |
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密閉泄漏 |
所有課程 |
24個月 |
ISO 14644-3附件B4 |
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恢復(fù) |
所有課程 |
24個月 |
ISO 14644-3附件B13 |
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氣流可視化 |
所有課程 |
24個月 |
ISO 14644-3附件B7 |
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空氣分類清潔區(qū)域分類（0.5 um顆粒/ ft 3） |
ISO指定 |
> 0.5μm顆粒/ m 3 |
微生物主動空氣作用水平（cfu / m 3） |
微生物沉降板作用水平（直徑90毫米； cfu / 4小時） |
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100 |
5 |
3,520 |
1個 |
1個 |
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1,000 |
6 |
35,200 |
7 |
3 |
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10,000 |
7 |
352,000 |
10 |
5 |
|
100,000 |
8 |
3,520,000 |
100 |
50 |
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允許的zui大顆粒數(shù)/ m 3大于列表的大小 |
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在休息 |
運作中 |
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年級 |
0.5微米 |
5.0微米 |
0.5微米 |
5.0微米 |
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一種 |
3,520 |
20 |
3,520 |
20 |
|
乙 |
3,520 |
29 |
352,000 |
2,900 |
|
C |
352,000 |
2,900 |
3,520,000 |
29,000 |
|
d |
3,520,000 |
29,000 |
沒有定義的 |
沒有定義的 |
確保將人，設(shè)備和工具中的污垢和灰塵排除在潔凈室之外是確保室內(nèi)空氣盡可能純凈的另一個方面。從潔凈室地板和墻壁上的油漆和面板到記錄數(shù)據(jù)的鉛筆，潔凈室的各個方面都經(jīng)過專門設(shè)計，以防止雜質(zhì)從易受影響的制成品中清除。
